压力传感器芯体氦检漏系统
此套氦检漏系统针对传感器芯体气密性检测量身定制 2、检测精度高，泄漏率1.0E-8Pa.m3/sec 3、检测速度快 4、2个检测工位
技术参数
| 待检工件 | 压力传感器芯体 |
| 示踪气体 | 100%氦气 |
| 示漏氦气压力 | 50KPa（向下可调） |
| 报警漏率 | 1.0E-8Pa.m3/sec. |
| 检漏工位数量 | 2个 |
| 生产节拍 | 10秒/件，含工件装卸时间 |
压力传感器芯体氦检漏系统
此套氦检漏系统针对传感器芯体气密性检测量身定制 2、检测精度高，泄漏率1.0E-8Pa.m3/sec 3、检测速度快 4、2个检测工位
技术参数
| 待检工件 | 压力传感器芯体 |
| 示踪气体 | 100%氦气 |
| 示漏氦气压力 | 50KPa（向下可调） |
| 报警漏率 | 1.0E-8Pa.m3/sec. |
| 检漏工位数量 | 2个 |
| 生产节拍 | 10秒/件，含工件装卸时间 |
| 检漏仪 | 安捷伦 |
| 真空泵 | 鲍斯 |
| 真空计 | 安捷伦 |
| 真空阀 | 科本 |
| 压力传感器 | 美控 |
| 真空泵油 | H86 |
| 密封圈 |
| 真空泵油 | |
| 密封圈 |
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